Jae-Sung Kim, Min-Kyu Joo, Ming Xing Piao, Seung-Eon Ahn, Yong-Hee Choi, Ho-Kyun Jang and Gyu-Tae Kim*
Journal of Applied Physics (2014),
"Plasma treatment effect on charge carrier concentrations and surface traps in a-InGaZnO thin-film transistors"
*Electron mail: gtkim@korea.ac.kr
2014.03.19 published online
URL : http://scitation.aip.org/content/aip/journal/jap/115/11/10.1063/1.4868630
http://dx.doi.org/10.1063/1.4868630
화연, 글로벌프론티어 과제 사사
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IGZO TFT에 O2, N2, Ar 분위기에서 플라즈마 처리를 하고 캐리어 농도와 트랩에 관한 분석을 한 논문입니다.
기본 IV를 비롯하여 low-f Noise와 XPS 측정이 포함되어 있고,
Threshold voltage, on-current, resistivity, XPS data 등으로 carrier concentration 에 관해 설명하였고, (n: Ar>Pristine>N2>O2)
Subthreshold swing, off-current, mobility, Noise data 등으로 트랩에 관해 설명하였습니다.
플라즈마 처리로 인해 O2와 N2와 같은 경우 oxygen vacancies에 채워져서 캐리어 농도가 바뀌며,
data를 종합적으로 검토해봤을 때, 플라즈마처리를 통한 이온 충돌(ion bombardment) 현상으로 인해 IGZO 표면에
데미지가 가해져서 Conducting한 영역이 생성되며, 이와 동시에 trap source로 작용하는 것을 Noise 분석으로 확인했습니다.
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한동안 소식없던 Thin Solid Films 논문의 억셉 연락이 오고 얼마지나지 않아, 좋은 소식을 듣게 되어 정말 기분이 좋습니다.
두 명의 리뷰어가 있었는데, revised manuscript를 제출하고 하루만에 억셉이 되어서 약간 얼떨떨합니다.
처음에 민규형이 알려주셨을 때 거짓말인 줄 알았는데 얼마지나지 않아 교수님께 확인전화를 받았습니다. (감사합니다!)
그와 함께 Thin Solid Films 논문이 출간된 것도 확인하고 그 pdf를 받아보니 신기하고 기분이 좋네요ㅎㅎ
프린트해서 집에 두려고 인쇄 버튼을 눌렀는데 프린터가 고장인지 왠지 인쇄가 안되는데 다 용서가 됩니당..ㅎㅎ
훈련소에 갈 날이 머지 않았는데, 전/후로 열심히 실험해서 또 좋은 연구성과가 있었으면 합니다.
화이팅! | |
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