Dae-Young Jeon, So Jeong Park, Yongha Kim, Min-Ju Shin, Pil Soo Kang, and Gyu-Tae Kim*,
Journal of Vacuum Science and Technology B 32, 021803 (2014),
"Impedance characterization of nanogap interdigitated electrode arrays fabricated by tilted angle evaporation for electrochemical biosensor applications".
*Electronic mail: gtkim@korea.ac.kr
http://scitation.aip.org/content/avs/journal/jvstb/32/2/10.1116/1.4863512 (논문저널페이지)
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매우 오래전에 정리해 보았던 내용인데, 그동안 여러가지 일이 있어서 오랜시간이 걸려서 JVST-B에 최종 게재 승인을 받았습니다.
임피던스 분석과 실험관련해서 많은 조언과 도움을 주신 교수님께 감사드리고,
실험관련해서 도움을 준 소정이, 용하, 민주, 필수한테도 고마운 마음을 전합니다.
간단한 방법으로 Nanogap IDE arrays를 만들고, 임피던스 측정/분석을 통해 소자가 잘 제작되었는지 확인해 보고,
또 numerical simulation을 통해 electrochemical biosensor로서의 성능도 예측해 본 내용입니다.
Aluminum과 SiO2 Dry etching 등의 우리 연구실에서 할 수 없는 공정은 "서울대학교 반도체 공동 연구소"에서 진행하였습니다.
임피던스 분석을 통해 ion들의 transport와 전극표면의 double layer에 대해 공부해 보고,
반도체 소자에서의 electronics와도 그 특성을 비교해 보는 주제는 앞으로도 계속 관심을 가지고 공부해 볼 계획입니다.
- 전대영 올림. | |
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