Triethanolamine doped multilayer MoS2 field effect transistors
Min-Yeul Ryu, Ho-Kyun Jang, Kook Jin Lee, Mingxing Piao, Seung-Pil Ko, Minju Shin, Junghwan Huh* and Gyu-Tae Kim*
Physical Chemistry Chemical Physics
ITRC 사사
URL : http://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2017/cp/c7cp00589j
DOI : 10.1039/C7CP00589J
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이 주제를 시작하게 된 계기는 이전에 명성이 형이 진행하던 도핑 물질을 2D 물질에 적용하려 했던 것이었습니다.
triethanolamine라는 도핑 물질을 이용하여 MoS2 FET의 성능 향상을 확인하고, 이를 안정적으로 구현하는 low temperature annealing 공정을
사용하였습니다. 또한 subthreshold swing이 향상되는 원인을 설명하기 위해 independent FET model을 회로시뮬레이션으로 구현하였습니다.
이러한 연구를 통해 우리 연구실 동료들도 chemical doping에 대해 관심을 가지게 되고 실험을 진행하게 된 것 같아 보람을 느낌니다.
안정적인 결과를 얻기위해 시간이 많이 들었지만, 논문을 정리하는 과정에서 공동 교신 저자이신 정환이형의 지도로 더 의미있는 내용이 될 수 있었습니다.
시뮬레이션 부분에서 많은 조언을 해준 호균이와 공정에 많은 도움을 준 국진이, 논문을 쓰는 과정에서 좋은 코멘트를 해준 명성이형, 승필이형, 민주형에게도 감사드립니다.
마지막으로 제가 많이 부족함에도 불구하고 항상 믿어주시고 이끌어주신 김규태 교수님께 존경과 감사를 전합니다.
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